實驗室勻膠機是一種在高速旋轉(zhuǎn)的基片上滴注各類膠液，利用離心力使膠液均勻涂覆在基片上的設(shè)備。其基本原理是在高速旋轉(zhuǎn)的基片上滴注各類膠液，利用離心力將滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上。膜的厚度取決于勻膠機的轉(zhuǎn)速和溶膠的黏度，同時也與膠液和基片間的粘滯系數(shù)、旋涂時間等因素有關(guān)。
1、放置基片
將準備好的基片放置在勻膠機的轉(zhuǎn)盤上。對于有凹槽的真空吸盤軸，應(yīng)將基片輕輕放入凹槽中，并調(diào)整位置使其處于中心位置，保證基片在旋轉(zhuǎn)過程中不會偏離。對于平板結(jié)構(gòu)的真空吸盤軸，應(yīng)將基片水平放置在吸盤上，并輕輕按壓使其吸附牢固。
開啟真空泵（如果設(shè)備配備），調(diào)整真空閥門，使基片被牢固地吸附在吸盤上。
2、設(shè)置參數(shù)
根據(jù)不同的材料和實驗要求，設(shè)置合適的轉(zhuǎn)速和時間。一般來說，低速階段用于滴膠和初步攤開膠液，高速階段用于使膠液均勻分布。
常見的設(shè)置是先以較低的轉(zhuǎn)速（500-1000轉(zhuǎn)/分）運行幾秒鐘，使膠液初步擴散，然后再加速到較高的轉(zhuǎn)速（2000-8000轉(zhuǎn)/分）運行幾十秒到幾分鐘，以達到理想的涂層厚度。
3、滴膠
將膠液滴在基片的中心位置。對于靜態(tài)滴膠，直接將滴管或移液器中的膠液滴在靜止的基片上；對于動態(tài)滴膠，在基片旋轉(zhuǎn)的同時進行滴膠，這有助于膠液更均勻地分布在基片上。
控制滴膠的速度和量，避免過快或過多導(dǎo)致膠液溢出或涂層過厚。一般來說，滴膠量應(yīng)根據(jù)基片的大小和需要的涂層厚度來確定。
4、啟動勻膠
按下勻膠機的啟動按鈕，設(shè)備開始按照設(shè)定的參數(shù)運行。在加速旋轉(zhuǎn)攤膠階段，觀察膠液的擴散情況，確保膠液能夠均勻地向基片邊緣擴散。
在勻速旋轉(zhuǎn)勻膠階段，保持旋轉(zhuǎn)速度的穩(wěn)定性，使膠液在離心力的作用下逐漸形成均勻的涂層。
5、烘烤（如需）
如果實驗要求對涂層進行烘烤，將涂覆好的基片取下，放入烘烤設(shè)備中進行烘烤。根據(jù)涂覆材料的特性和工藝要求，設(shè)置合適的烘烤溫度和時間。烘烤過程中應(yīng)注意通風，排除揮發(fā)的有害物質(zhì)。
6、清洗設(shè)備
實驗完成后，關(guān)閉勻膠機電源，拔掉電源插頭。將轉(zhuǎn)盤和吸片裝置（如果有）清洗干凈，避免膠液殘留影響下次使用。可以使用適當?shù)娜軇┖蛙洸歼M行清潔，注意不要損壞設(shè)備的表面。
更新時間：2024-10-25
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